Heater and Thermal Sensor

​​AL Plate + All Polyimide Heater

• 260도 사용 가능 온도
• 패턴 된 히터 Source + Polyimide 절연 + AL plate
• Photoresist Bake Station
• Electrostatic Chuck
• Shower Head

​​AL Plate + MICA Heater

• 400도 사용 가능 온도
• 패턴 된 히터 Source + MICA 절연 + AL plate
• Dry Etch
• CVD / PVD

SIC Plate + MICA Heater

• 600도 사용 가능 온도
• 패턴 된 히터 Source + MICA 절연 + SIC plate
• Dry Etch
• CVD / PVD

• Typical 3 Zone profiled 300mm wafer chuck heater 
• 그 이상의 Zone 설계 가능 
• Custom Sensors for Semicon needs

           - Fast response
           - Embedded in chuck
           - High accuracy, high reliablity