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Heater and Thermal Sensor

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​​AL Plate + All Polyimide Heater
  • 260도 사용 가능 온도
  • 패턴 된 히터 Source + Polyimide 절연 + AL plate
  • Photoresist Bake Station
  • Electrostatic Chuck
  • Shower Head
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​​AL Plate + MICA Heater
  • 400도 사용 가능 온도
  • 패턴 된 히터 Source + MICA 절연 + AL plate
  • Dry Etch
  • CVD / PVD
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SIC Plate + MICA Heater
  • 600도 사용 가능 온도
  • 패턴 된 히터 Source + MICA 절연 + SIC plate
  • Dry Etch
  • CVD / PVD
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  • Typical 3 Zone profiled 300mm wafer chuck heater 
  • 그 이상의 Zone 설계 가능 
  • Custom Sensors for Semicon needs
           - Fast response
           - Embedded in chuck
           - High accuracy, high reliablity
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